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          電子元器件&半導體芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)

          電子元器件&半導體芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)

          一、電子元器件/半導體芯片光源特點:

            *波長365nm/385nm/395nm/405nm。

            *光源平行半角1.5°~3°可選,光偏角<0.5°,可滿足高解析度曝光需求;

            *光源面積:4寸/6寸/8寸/12寸

          二、產品主要技術參數:


          1.5°~3°可選
          序號指標參數目前水平
          1光源波段365/385/395/405nm (可選單波,混波)
          2產品用途電子元器件,半導體芯片等
          3平行半角0.5°~3°(可選)
          4光照面積100*100mm~300mm*300mm
          5不均勻性<4%


          三、光源使用方向

              現廣泛應用于晶體管、二極管、電阻、電容、電感、可控硅、肖特基等器件生產的核心曝光工藝環節。



                                

          豫公網安備 41072102000587號

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